1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达?/span>11"，内管直徃/span>8.5"，在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰，法兰上配有机械压力表和阀门，三个温区都采?/span>30段可编程数字控温器，并配月/span>K型热电偶进行测温，专门针对于在金属箔上生长薄膜物质、/span>
产品型号 |
1100℃双管三温区管式炉（石墨烯生长）GSL-1100X-III-D11-8 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC380V 50Hz?3A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上），需自备氩气气瓶（自?span>?6mm双卡套接头） 4、工作台：尺?500mm600mm700mm，承?00kg以上 5、通风装置：需?/span> |
主要特点 |
1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温?span><70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料，可?*程度的减少能量的损失、/p> 2、采用不锈钢真空密封法兰，使用硅胶密封圈进行密封、/p> 3、采用三?span>PID控制器，可以设置30段升降温程序、/p> 4、加热前需将石英管堵放入炉管，防止热量以热辐射的形式散失、/p> 5、使用内管进行薄膜生长可放置**8"皃/span>基片、/span> 6、已通过CE认证、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：单相AC220V50Hz/60Hz 8KW（需50A的空气开关） 2、石英管：外管外徃span>?279mm，内徃/span>?269mm，长1300mm，两端打开，可连接法兰 内管外径?216mm，内徃span>?206mm，长750mm，一端封闭，一端连接气体出入口 3、加热元件：NiCrAl电阻东/p> 4、加热区域：镾span>900mm 5、温区：3个，吃span>300mm镾/p> 6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度（/p> 7、工作温度：**1100℃（<1h），连续工作200ℂspan>-1000ℂ/p> 8?*升降温速率９span>10ℂspan>/min 9、热电偶９span>3个，K垊/p> 10、控温精度：1ℂ/p> 11、真空度９span>10-2torr（机械泵（/p> 12、法兰：左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口，右侧法兰设月span>KF-40真空接口和真空阀?/p> |
产品规格 |
尺寸：不包含真空法兰1300mm623mm940mm，包含真空法?span>1670mm623mm940mm 重量９span>200kg |
可选配仵/span> |
1?span>石英管堵 2?span>PC控温软件 3?span>KF-40?span>KF-25接头 |
