精密液体气相发生?/strong>是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制?*流量丹/span>80ml/min＋/span>精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成蒸汽，然后随导入的气体被带入到炉管中、/span>本机能够导出多种液体，如ETOH?/span>SnCl4?/span>TiCl4R?/span>SiHCl3咋/span>Zn＇/span>C2H5（/span>2，以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜?*的研究设备、/span>
精密液体气相发生?/strong>操作视频
产品型号 |
精密液体气相发生?/strong> |
主要特点 |
1、流体和气体在一?span>316不锈钢罐中加热、/p> 2、采?0段程序化控温、/p> 3、气体流速通过浮子流量计控制、/p> 4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强、/p> 5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出、/p> 6、可与本司所有管式炉咋span>CVD系统相连接、/p> 7、已通过CE认证、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：单相AC208V-240V50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕动泵：精确度0.02%FS，流野span>0-80ml/min（可调） 4?*工作温度９span>300ℂ/p> 5、控温精度：1ℂ/p> 6、浮子流量计９span>0-2000ml/min（可调） 7、出气口：外徃span>1/4′/span> |
产品规格 |
尺寸９span>350mm335mm300mm；重量：5kg |
| 可选配仵/span> | 加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。） |
