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2平/div> 称：
沈阳科晶自动化设备有限公号/b>
证：工商信息已核宝br /> 访问量：176159
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产品简今/div>
混气系统3路质孏/span>GSL-3Z?/span>用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用亍/span>CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延?/span>CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器、/span>
产品型号 |
混气系统3路质孏span>GSL-3Z |
主要特点 |
精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：185-245V 50Hz 2?*输出功率９span>18W 3、控制范围：控制?span>1—–span>0-100SCCM、控制器2—–span>1-199SCCM、控制器3—–span>1-499SCCM 5、准确度?#177;1%FS 6、线性：0.5-1.5% 7、重复精度：0.2%FS 8、响应时间：气特?span>1-4s，电特?span>10s针阀９span>316不锈钡/p> 9、工作压差范围：0.1-0.5MPa 10、压力表测量范围９span>-0.1-0.15MPa＇span>0.01 MPa/grid（/p> 11、混气罐９span>?80mm120mm 12、截止阀９span>?1/4′/span>＋span>316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45ℂ/p> |
产品规格 |
尺寸９span>600mm600mm650mm |
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