GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动?*可以承重1000Lbs＋/span>所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验、/span>
产品型号 |
GSL-LCD(控制面板为触摸屏（/span> |
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技术参?/span> |
功能 |
双通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
质子流量控制?/span> |
工作温度?~45oC **压力:3x106 Pa 精度: 1.5% FS 线? ＇/span>0.5-1.5（/span>%F.S.重复精度: 0.2%F.S. 流量范围: 一?1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度?~45 oC **压力: 3x106 Pa 精度: 1.5% FS 线? ＇/span>0.5-1.5（/span>%F.S. 重复精度: 0.2%F.S. 流量范围: 一? 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度: 5~45 oC **压力:3x106 Pa 精度: 1.5% FS 线? ＇/span>0.5-1.5（/span>%F.S.重复精度: 0.2%F.S. 流量范围: 一? 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度: 5~45 oC **压力: 3x106 Pa 精度: 1.5% FS 线? ＇/span>0.5-1.5（/span>%F.S. 重复精度: 0.2%F.S. 流量范围: 一? 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM ?九路可按照客户要求定刵/span> |
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产品规格 |
外形尺寸９/span>600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
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输入电源 |
AC 220V/50Hz单相 |
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办/span>玆/span> |
23W |
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PLC触摸屎/span> |
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏三/p> RS485通讯接口咋/span>PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控刵/span> |
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机械压力?/span> |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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钇/span>阀 |
316不锈钡/p> |
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通气管道 |
内部连接管道丹/span>1/4“/span>不锈钢管 外部通气管道丹/span>1/4“/span>聚四氟管 |
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混气罏/span> |
80X120mm |
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截止阀及配仵/span> |
316不锈钢针阀 1/4“span>不锈钢管 |
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