产品型号

1500℃单温区可倾斜旋转管式炈�span>GSL-1500X-OTF-R60

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：不需�?/span>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头（�/span>

4、工作台：尺�?200mm��600mm��700mm，承�?00kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1、双层壳体，配有三个冷却风扇，壳体温�?span><60℃、�/p>

2、采用高纯氧化铝纤维材料，具有极好的保温性、节能性、�/p>

3、内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料，有效地提高反射率及炉膛洁净度、�/p>

4、采用上翻盖开启方式，操作更容易，且可快速冷却、�/p>

5、已通过CE认证、�/p>

技术参�?/span>

1、电源：AC220V50Hz/60Hz 2.5KW（需�?span>20A的空气开关）

2、炉管：外径?60mm，内徃�/span>?54mm，长1200mm

3、炉管旋转转速：0-7rpm

4、炉体倾斜角度９�span>0-30��

5、加热元件：硅碳棑�/p>

6、加热区域：300mm

7、恒温区域：150mm

8、工作温度：**1500℃（<2h），连续工作1400ℂ�/p>

9、控温精度：��1ℂ�/p>

10、产率：2kg/炈�/p>

11�?*真空度：4.5��10^-2tor

12、泄漏率９�span><0.1mtorr/s

产品规格

尺寸９�span>1300mm��600mm��1200mm；重量：100kg

可选配仵�/span>

1�?span>PC控制软件

2�?span>刚玉箠�/span>

3�?span>石英箠�/span>