产品型号

大口径管式真空气氛炉GSL-1100X

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：不需�?/span>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头（�/span>

4、工作台：尺�?600mm��600mm��700mm，承�?00kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1、石英管外径丹�span>6′�/span>�?span>8′�/span>�?span>8.5′�/span>�?span>11′�/span>

2、采�?span>PID控制器，可以设置51段控温程序、�/p>

3、控温精度高，保温效果好，温度范围大，炉膛温度均匀性高，可通气氛抽真空、�/p>

4、安全可靠，操作简单、�/p>

技术参�?/span>

1、电源：AC380V50/60Hz 5KW

2、石英管９�span>?152mm��1000mm＋�/span>?203mm��1000mm＋�/span>?216mm��1000mm＋�/span>?280mm��1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铜�/p>

4、加热区域：900mm

5、温区：3个，吃�span>300mm镾�/p>

6、恒温区域：550mm

7、温�?span>;�?100ℂ�/p>

8、工作温度：1000ℂ�/p>

9、升温速率：≤20ℂ�span>/min

10、推荐升温速率９�span>10ℂ�span>/min

11、控温精度：��1ℂ�/p>

12、控温段数：51殴�/p>

产品规格

尺寸９�span>1300mm��650mm��1050mm；重量：150kg

标准配件

1

石英箠�/p>

1核�/p>

2

管堵

4�?/p>

3

坩埚钲�/p>

1抉�/p>

4

热电偵�/p>

1核�/p>

5

真空法兰

1奖�/p>

6

高温手套

1友�/p>

可选配仵�/span>

1�?span>石英箠�/span>

2�?span>氧化铝坩埙�/span>

3、石英坩埙�/p>

4、真空泵