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产品简介:1100℃三温区带滑?/span>8.5′/span>管式炈/span>GSL-1100X-8.5-SR-III是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。本机可在不同气氛下,在≣/span>6′/span>的基片上生长多种薄膜、/span>
控温仪表操作视频
产品型号 |
1100℃三温区带滑?span>8.5′/span>管式炈span>GSL-1100X-8.5-SR -III |
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安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水:需要选配冷水朹/span> 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头(/span> 4、工作台:尺?600mm600mm700mm,承?00kg以上 5、通风装置:需?/span> |
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主要特点 |
1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高设备 的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命、/p> 2、滑轨式法兰结构,方便取放样品、/p> 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统、/p> 4、三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度、/p> 5、采用三?span>PID控制器,通过可控硅来进行温度控制,可以设?span>30段升降温程序、/p> 6、右端法兰装载石英管堵,用以阻止热辐射;左端法兰上设月span>4片磨砂石英挡片,用于阻止热辐射、/p> 7、已通过CE认证、/p> |
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技术参?/span> |
1、电源:单相220V8KW 2、石英管:外徃span>?216mm,内徃/span>?208mm,长1300mm 3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻东/p> 4、加热区域:镾span>900mm 5、温区:3个,吃span>300mm镾/p> 6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度(/p> 7、工作温度:≣span>1100℃,连续工作400ℂspan>-1000ℂ/p> 8、升降温速率:≤10ℂspan>/min 9、控温精度:1ℂ/p> 10、真空度9span>10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵(/p> 11、热偶检测口9span>1?/p> 12、真空接口:KF-25 13、进气接口:5路,精密不锈钢针阀密封 14、炉体:1000mm700mm1060mm 15、滑轨:600mm |
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产品规格 |
尺寸9span>1780mm1780mm1650mm;重量:354kg |
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标准配件 |
1 |
石英管堵 |
1?/p> |
2 |
KF-25真空挡板阀 |
1?/p> |
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3 |
KF-40不锈钢波纹管 |
1核/p> |
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可选配仵/span> |
1、软件接口模块和PC朹/p> 2?span>K型热电偶'span>?6.35mm915mm,用于对炉膛温度校准(/p> 3?span>冷水朹/span> |