产品简介：6′/span>单温匹/span>CVD真空管式炈/span>GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6′/span>的真空管式炉＋/span>可以在不同气氛下，在≣/span>5′/span>的基片上生长多种薄膜、/span>
产品型号 |
6′/span>单温匹span>CVD真空管式炈span>GSL-1100X-6-S |
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| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：不需?/span> 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头（/span> 4、工作台：尺?600mm600mm700mm，承?00kg以上 5、通风装置：需?/span> |
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主要特点 |
1、双层壳体，配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。壳体温?span><70℃、/p> 2、采用不锈钢真空密封法兰，使用双硅胶密封圈进行密封、/p> 3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统、/p> 4、采?span>PID控制器，可以设置30段升降温程序、/p> 5、已通过CE认证、/p> |
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技术参?/span> |
1、电源：AC220V8KW 2、石英管：内徃span>?152mm，长1016mm 3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻东/p> 4、加热区域：600mm 5、恒温区域：200mm 6、工作温度：≣span>1100℃，连续工作400ℂspan>-1000ℂ/p> 7、升降温速率：≤10ℂspan>/min 8、热电偶：双K垊/p> 9、控温精度：1ℂ/p> 10、真空度９span>10-2torr（机械泵），10-5torr（分子泵（/p> 11、铠装热偶检测口９span>1?/p> 12、真空接口：KF40 |
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产品规格 |
尺寸９span>1000mm680mm920mm；重量：250kg |
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标准配件 |
1 |
石英箠/p> |
1核/p> |
2 |
氧化铝管場/p> |
2?/p> |
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可选配仵/span> |
1、软件接口模块和PC朹/p> 2?span>石英箠/span> 3?span>石英管堵 4?span>K型热电偶＇span>?6.35mm915mm，用于对炉膛温度校准（/p> 5?span>真空泴/span> |
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