产品型号

450型电子束蒸发镀膜系绞�/strong>

技术参�?/span>

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成、�/span>

　　技术指标：

　　极限真空度：�?.7��10 Pa

　　恢复真空时间：从1��10 Pa抽至5��10 Pa�?0min

　　系统漏率�?. 7��10^-7Pa.L/S：�/span>

　　真空室：真空�?00x500 x600mm采用U型箱体前开门，后置抽气系统e型电子枪：阳极电压：6kv�?kv(1�?

　　坩埚：水冷式坩埚，四穴设计，每个容量11ml

　　功率�?-6KW可调

　　电阻蒸发�?可�?

　　电压�?�?0V

　　功率：电�?00A，输出功�?Kw1套，可切换水冷电

　　�?根，组成2个蒸发舟

　　基片尺寸：可放置4″基牆�/span>

　　样品台：基片可连续回转，转�?-60�?分基片与蒸发源之间距�?00-350mm加热温度 �?00��C��1��C，可调手动控制样品挡板组�?奖�/span>

　　气路系统：质量流量控制器1�?/span>

　　石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显示范围�?-99��9999?