六源有机无机联合蒸发镀膜设夆/strong>适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作、/span>OPV系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置亍span>Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD不span>Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池?span>OLED等研究领埞span>、/span>
产品型号 |
六源有机无机联合蒸发镀膜设夆/strong> |
主要特点 |
1?/span>样品在镀膜过程中，带有烘烤加热功能，**烘烤加热温度为：室温?80℃，测温控温、/span> 2?/span>设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置、/span> |
技术参?/span> |
1?/span>镀膜室：镀膜腔室尺寸约?00450450mm，不锈钢材料，方形前后开门结构，内带有防污板、/span> 2、抽气系统：采用分子?机械泵抽气系绞/span>９/span> 真空度：镀膜室的极限真空≤610-4Pa：/span> 系统漏率?10-7PaL/s、/span> 3?/span>蒸发源系统： 有机源蒸发源4个，容积5ml?台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5Kw：/span> 挡板：蒸发源挡板采用自动磁力控制方式，控制其开启； 安装：蒸发源安装在真空室的下底上、/span> 4、样品架系统９/span> 样品架可放置大小?#934;120mm的样品，载玻片； 样品架可旋转，旋转速度为：0?0?分； 安装：样品安装在真空室的上盖上，蒸发源安装在真空室的下盖上，向上蒸发镀膜，蒸发源都带有挡板装置、/span> 75?/span>无机蒸发?套、容?ml?台蒸发电源，加热电流300A，功?.2Kw：/span> 8?/span>6?/span>石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?、/span> |
