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产品简介：TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线、span>TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范図span>1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对亍span>100nm以上的薄膜，还可以测野span>n咋span>k值、/span>
产品型号 |
TF200-VIS |
TF200-EXR |
TF200-DUV |
TF200-XNIR |
主要特点 |
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高 |
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应用领域 |
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶?span>MEMS＋span>SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胹span>ITO筈span>) LED (SiO2、光刻胶ITO等） 触摸屎span>(ITO AR Coating反射/穿透率测试筈span>) 汽车(防雾层?span>Hard Coating DLC等） 医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等（/span> |
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波长范围 |
380-1050nm |
380-1700nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
厚度范围 |
50nm-40um |
50nm-300um |
1nm-30um |
10um-3mm |
准确度（取决于材?.4%戕span>2nm之间取较大者） |
2nm |
2nm |
1nm |
10nm |
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
入射觑/span> |
90 |
90 |
90 |
90 |
样品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
测量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
光斑尺寸＇span>可选微光斑附件、/span>（/span> |
2mm |
2mm |
2mm |
2mm |
是否能在纾/span> |
?/span> |
?/span> |
?/span> |
?/span> |
扫描选择 |
XY可逈/span> |
XY可逈/span> |
XY可逈/span> |
XY可逈/span> |
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