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ETD-900C是一款具有溅射和蒸发两种功能的镀膜设备，由一台ETD900型溅射仪和一个蒸发电源箱及样品室蒸发上盖组成，由电缆将两个机箱中的控制部件连接起来，通过面板上的按键状态，经溅射机箱中的CPU判别操作项，以确定允许与否（具体操作见说明书）。设备使用简便，性能可靠，蒸发材料为碳绳，溅射材料为金、铂等、/span>
型号 |
ETD-900c |
仪器尺寸 |
400mm300mm400mm（LWH（/span> |
靶（上部电极（/span> |
50mm0.1mm（DH（/span> |
真空样品宣/span> |
硼硅酸盐玻璃 160mm110mm（DH（/span> |
样品?/span> |
50mm (D) |
工作电压 |
0-1200V (DC)可调 |
溅射电流 |
0-50mA |
溅射定时 |
1-3600S |
蒸碳电流 |
0-50A(AC) |
真空泴/span> |
2升机械旋转泵 |
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