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意力博通溅射仪ETD-2000
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ETD-2000型离子溅射仪是依据二?DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备、/span>

适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作、/span>

特点9/span>

1.配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;

2.溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获?*镀膜效果;

3.特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;

4.陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用:/span>

5.根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净、/span>

型号

ETD-2000

主机规格

L360mm*W300mm*H380mm

靶(上部电极(/span>

金:直径?0mm,厚度:0.1mm

真空样品宣/span>

直径?60mm,高?20mm

溅射面积

50mm

真空指示?/span>

**真空度: 4X10-2mbar

离子电流?/span>

**电流?0mA(100mA)

定时?/span>

*长时间:3600S

微型真空气阀

可连?#966;3mm软管

可通入气体

多种

**电压

-1600 DCV

机械泴/span>

2L/S

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