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世友创业(北京)科技有限公司
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产品简今/div>
ETD-2000型离子溅射仪是依据二?DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备、/span>
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作、/span>
特点9/span>
1.配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
2.溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获?*镀膜效果;
3.特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
4.陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用:/span>
5.根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净、/span>
型号 |
ETD-2000 |
主机规格 |
L360mm*W300mm*H380mm |
靶(上部电极(/span> |
金:直径?0mm,厚度:0.1mm |
真空样品宣/span> |
直径?60mm,高?20mm |
溅射面积 |
50mm |
真空指示?/span> |
**真空度: 4X10-2mbar |
离子电流?/span> |
**电流?0mA(100mA) |
定时?/span> |
*长时间:3600S |
微型真空气阀 |
可连?#966;3mm软管 |
可通入气体 |
多种 |
**电压 |
-1600 DCV |
机械泴/span> |
2L/S |
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