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STP-iXR1606系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业?*的性能，机载控制装置中包含**技术的小型电源供给。其设计理念与STP-iXA2206/iXA3306系列相同?*开发的革命性转子设计提高了抽取性能，这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案、/span>
应用
玻璃涂层
太阳能PVD
工业溅射
特性与优势
泵和控制器之间不需要连接电缆 消除了传统架装式控制器的安装空间和成本
紧凑型设计使安装更加方便，占地面积更小 与STP-A1603配套时在8 TMP同类产品中抽?* 使高气体流速领域的功耗降低了32% 标配端口包括I/O远程、RS232C、RS485、STP-Link
可选配Profibus和DeviceNet
技术数?/span>
入口法兰尺寸 |
VG200/VG250 |
VG150 |
ISO200F/ISO250F |
ISO160F |
|
ICF253/ICF305 |
ICF203 |
|
前级抽气口尺寷/span> |
KF40 |
KF40 |
抽逞/span> |
||
N2 |
1600 ls-1 |
900 ls-1 |
H2 |
1200 ls-1 |
600 ls-1 |
压缩毓/span> |
||
N2 |
>108 |
>108 |
H2 |
1 x 103 |
1 x 103 |
极限压力 |
10-7Pa (10-9Torr) |
10-7Pa (10-9Torr) |
允许的前级压劚/span> |
266 Pa (2 Torr) |
266 Pa (2 Torr) |
**气流N2（仅水冷（/span> |
4700 sccm |
4700 sccm |
(7.94 Pam3s-1) |
(7.94 Pam3s-1) |
|
**气流Ar（仅水冷（/span> |
1800 sccm |
1800 sccm |
(3.04 Pam3s-1) |
(3.04 Pam3s-1) |
|
额定速度 |
36?00 rpm |
36?00 rpm |
启动时间 |
8 min |
8 min |
固定位置 |
任何方向 |
任何方向 |
输入电压 |
200?40 ( 10) V交流 |
200?40 ( 10) V交流 |
**输入功率 |
750 VA |
750 VA |
重量 |
48 kg |
48 kg |
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