STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业�?*的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列�?*技术）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等亍�/span>STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案、�/span>

用逓�/span>

��金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物（�/span>

��电子回旋共振(ECR)刻蚀

��薄膜沉积CVD�?/span>PECVD�?/span>ECRCVD�?/span>MOCVD

��溅射

��离子注入源，射束线泵送和竘�/span>

功能与优劾�/span>

��紧凑型设计，包括完全集成的控制器

��创新性自传感轴承系统

��数字匕�/span>5轴控刵�/span>

��与现有涡轮泵相比振动级别降低亅�/span>50%

��可以配置为运行腐蚀性制稊�/span>

技术数�?/span>

入口法兰尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寷�/span>	KF40
抽逞�/span>N2/Ar	2200/1900 ls-1
压缩毓�/span>N2/H2	>108/ 1 x 104
极限压力	10-7Pa (10-9Torr)
允许的前级压劚�/span>	266 Pa (2 Torr)
**气流N2*（仅水冷（�/span>	3000 sccm
	(5.07 Pam3s-1)
**气流Ar *（仅水冷（�/span>	1400 sccm
	(2.36 Pam3s-1)
额定速度	27000 rpm
运转�?/span>90%额定速度的时闳�/span>	<8分钟
固定位置	任何方向
输入电压	200-240 V
**输入功率（不�?/span>TMS（�/span>	1200 VA
重量	62 kg

***气流适用于在15-25 ��C之间的水冷却温度下连续泵�?/span>N2戕�/span>Ar气体，并且使用前级泵＇�/span>10�?00 l/min大小）的情况。它会随条件变化而变化、�/span>