日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累，研制开发HPS-N系列电子束蒸发电�?和电子枪控制器单元，

整体电路运行稳定而安�?抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.

BEB Power Generator(电子枪电溏�/strong>)

1不需用冷却水冷却.

采用强制空冷方式，不需要冷却水.

2高可靠�?/span>

通过安装的整机设备后实际使用效果反馈总结.

3高速异常放电遮断重启功�?

采用半导体控制开�?针对异常放电，具有快速遮断，重启�?

起到保护电源的功�?可并保证蒸发工艺维持稳定而高�?

用逓�

金属膜，LED电极，配线膜等真空蒸镀.

光学膜TiO2，ZrO2，Ta2O5，防反射膜，绝缘膜，功能膜SiOx，阻隔膜SiN，栅介质AL2O3＋�/span>

透明导电ITO，ZnO膜的真空蒸镀..

参数:

型号HPS-600NHPS-1000N

相数＋�/span>频率三相50/60Hz。�/span>

辒�/span>输入电压AC200｝�/span>220V。�/span>

�?/span>变动范围AC190｝�/span>231V。�/span>

觃�/span>输入一溏�/span>9.0kVA以下14.0kVA以下

栻�/span>容量两源10.0kVA以下15.0kVA以下

漏溢电流各相5mA以内。�/span>

额定辒�/span>一溏�/span>6kW10kW

出电劚�/span>两源6kW(两源合计)10kW(两源合计)

辒�/span>高压可调范围-2kV｝�/span>-6kV-4kV｝�/span>-10kV

凹�/span>输出稳定玆�/span>��1%以内。�/span>

觃�/span>电压脉动玆�/span>��2%p-p以内(在各个额定输凹�/span>)

栻�/span>Beam可调范围0｝�/span>1000mA0｝�/span>1000mA

电流变动玆�/span>��2%以内(在各个额定输凹�/span>)

灯丝�?/span>电压0｝�/span>6V/12VAC。�/span>

输出电流0A｝�/span>45Amax。�/span>

高压动作方式半导体元件开关方弎�/span>

闪断高压闪断时间1ms以内(机械性断路约1秒断高压)

保护休止时间10ms以内。�/span>

高压启动时间1ms以内(额定20%臲�/span>80%)

冷却方式强制风冷.。�/span>

外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH

上记尺寸不含按键＋�/span>接口等突起部仼�/span>

重量115kg120kg