日本ULVAC公司的蒸发源(EB�?均采用磁场偏�?并防止蒸发材料污染的构�?

特点推荐EGN系列平顶结构如下:

特点:

一平顶结构.防止飞溅.

1平顶结构能让从坩埚中产生的二次电子很难通过反射飞溅打到基片�?造成污染.

2平顶结构使得人们追求�?80�?/span>

偏转成为可能.平项结构皃�strong>电子�?/strong>，顶端不易附着沉积�?既便长期使用后会有少许生成，因其没有

任何羁绊，使得清洁非常容�?

事�/span>易于拆解.方便维护.

1通过结构的优化，减少使用琐碎零件的数�?

意味着后期维护工作的大幅轻�?零件数量减少35%，既将来的清洗维护的工作量减�?5%＋�/span>

2采用新式结构型零�?

采用了两点定位的导轨定位销.不会造成装错的现�?让得普通的操作人员也可以进行拆�?组装电子�?/strong>.

降低维护门槛.

3采用长寿命灯�?

灯丝寿命是其他公司的三�?能减少因断丝而造成的不必要的意外停�?

丈�/span>数字式控制系统及快速的灭弧重启系统.

1关于通过采用数字化的控制界面调整发射功率� 调整是电子束形状.保证扫描图形.并有多种人性化

用户可操作界�?

2对于蒸发材料上生成氧化物后，电弧不稳，或干脆灭弧的现象，配备有快速重启功�?速度是其他公司的二十倍之�?

EGN-206M/406MEGP-1G

维护用备件数量精�?平顶构速�/span>180度偏转，长寿命灯�?

冷却均匀.保证高镀膜速率.精准转向.稳定的长时间

轻松方便地调整发射角�?/span>保持电子束流中心位置.

安全的地线设讠�/span>和形�?维护后装回过稊�/span>

由专业制具辅�?轻松完成

坩埚定位.