型号

S-9320

光斑直径�毫米

15 � 20

**扫描角度

��12.5��

導�/span>步长阶跃响应时间＇�span>1（�/span>�＇�/span>ms（�/span>

0.4

误差跟踪时间＇�span>ms)

0.22

转动惯量，g*cm2 ＋�/span>��10%

1.9

力矩常量dyne��cm/amp＋�/span>��10%

1.9*105

**平均工作电流＇�span>A/单轴（�/span>

4

峰值电流（A（�/span>

20

零点漂移＇�/span>��Rad/ℂ�/span>（�/span>

<15

比例漂移＇�/span>ppm/ℂ�/span>（�/span>

<50

线性度＇�/span>2（�/span>

�?9.90%

里�/span>夌�/span>精度＇�span>��Rad.（�/span>

<8

长时闳�/span>漂移＇�/span>连续工作8導�/span>旵�/span>（�/span>＇�/span>mrad（�/span>

<0.5

工作环境温度

25�?#177;10ℂ�/span>

重量（不�?/span>电缆（�/span>＇�span>g（�/span>

235

备注９�/span>

l所有角度均为机械角

l所有参数为上电1分钟后测徖�/span>

�?（�/span>配该型号电机所能带载的*導�span>Y轴镜片，响应至满幅度皃�/span>1%：�/span>

＇�span>2）指�?/span>��20��光学角范围内的线性度

型号

S-9320M�S-9320A/D

光斑直径�毫米

15

20

**扫描角度

��12.5��

有效扫描角度

��12.5��

可承�?*激光功率（W（�/span>

Nd:YAG@1064nm

200

300

CO₂

150

200

導�/span>步长阶跃响应时间�＇�/span>ms（�/span>

0.4

�?/span>差跟階�/span>时间�＇�span>ms（�/span>

0.22

标刻速度(2)＇�span>m/s�

3

3

定位速度(2)＇�span>m/s（�/span>

10

8

定位速度(3)cps

奼�/span>质量

600

500

髗�/span>质量

450

360

零点漂移＇�/span>��Rad/ℂ�/span>（�/span>

<15

比例漂移＇�/span>ppm/ℂ�/span>（�/span>

<50

长时闳�/span>漂移＇�/span>连续工作8導�/span>旵�/span>（�/span>＇�/span>mrad（�/span>

<0.5

纾�/span>性度(4)

�?9.90%

里�/span>夌�/span>精度＇�span>��Rad.（�/span>

<8

**平均工作电流＇�span>A/单轴（�/span>

4

峰值电流（A（�/span>

20

输入信号接口

XY2-100或模���5V� ��10V

输入电源

��24 VDC��10%＋�/span>Max. RMS 3.5A/轳�/span>

工作环境温度

25�?#177;10ℂ�/span>

主要应用领域

激光标刻，激光焊接，切割，钻孓�/span>

备注９�/span>

l所有角度均为机械角

l所有参数为上电1分钟后测徖�/span>

＇�span>1）配该型号电机所能带载的*導�/span>Y轴镜片，响应至满幅度皃�/span>1%：�/span>

＇�span>2）使用焦跜�/span>F=160mm透镜测得：�/span>

＇�span>3）透镜F=160mm＋�/span>标刻由字母和数字组成皃�/span>1mm高的单线字；

＇�span>4）指�?/span>��20��光学角范围内的线性度