www.188betkr.com 讯 碳化硅（SiC）是一种性能优异的结构陶瓷材料。碳化硅零部件，即以碳化硅及其复合材料为主要材料的设备零部件，其具备密度高、热传导率高、弯曲强度大、弹性模数大等特性，能够适应晶圆外延、刻蚀等制造环节的强腐蚀性、超高温的恶劣反应环境，因此广泛应用于外延生长设备、刻蚀设备、氧化/扩散/退火设备等主要半导体设备。根据晶体结构，碳化硅晶型很多，目前常见的SiC主要是3C、4H以及6H型，不同晶型的SiC用途不同。其中，3C-SiC也通常被称为β-SiC，β-SiC的一个重要用途就是用作薄膜和涂层材料，因此，目前β-SiC是作石墨基座涂层的主要材料。根据制备工艺，碳化硅零部件可分为化学气相沉积碳化硅（CVD SiC）、反..【详细】