超纳NanoX-S 3D光学干涉轮廓仪设备,外观精致小巧,体积小,重量轻,测量精度高,测量时间短,操作简单方便。适用亍span>先进制造业中微米、纳米级结构表面微观特征的三维精密测量,包括表面 粗糙度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微 观形貌、薄膜厚度等等。同时适用于大专院校实验平台,科研院所以及各类专业检测平台实验室、/span>