STACIS主动隔振系统

特点&优点

1、从0.6Hz开始隔离振动，1Hz时可隔振40%�?0%

2�?Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超�?0%的振动隔禺�/p>

3、减少工厂地板铺设成本，使设备能够安装在较强振动环境�?/p>

4、主动带宽：0.6Hz�?50Hz

5、设备制造商竭力推荐

6、六自由度活动硬性底座设计，无气浮支撐�/p>

7、鲁棒控制系统，不需要预先调送�/p>

8、可与设备内置隔振系统兼宸�/p>

9、当环境振动水平随时间增加时，确保设备满足自身的振动标准

10、利用TMC Stacis?技术通过压电陶瓷致动器来消除振动

11、带有基于计算机的图形用户界�?GUI)的数字控制器

12、在旧的、有噪音的地板上也可以安装使�?/p>

13、兼容各种地板的高度和类垊�/p>

14、TMC关注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服务

15、通过ROHS认证

STACIS?III是先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器，STACIS通过连续测量地板活动，扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时振动隔离、�/p>

*初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离， STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究、�/p>

Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载新的高效的双核处理器，前后面板上都配备以太网和USB串口，新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)、�/p>

Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例，对于大部分振动敏感仪器来说都�?理想的振动消除系统、�/p>