型号

参数

SEM basic

SNE-4500M

分辨率：5nm，放大倍数�?00�?00倍，探测器：二次电子（SE），电压�?�?0kv，样品台：X，Y，R，Z，T五轴/手动控制，真空：髗�/span>

�?/span>

台式电脑（或笔记本电脑）/因特尔处理器，硬盘：500GB，RAM缓存:4GB

显示器（21.5英寸（�/span>

机械泵（装配；软管）；SEM备用零件（灯丝，试件台，夹具，扳手……）Cable; Connecting 连接电缆

SEM Additional accessories

背散射探测器，类型：固�?通道

自动轴控刵�/span>

-Type: X，Y，R(3-axis)/DC Type(Basic);类型：X，Y，R(3�?/DC�?标配)

EDS System EDS系统

element

分辨率：129 电子� / 元素范围：从B 到Am� 反应区域�?5mm2� C系列Si3N4窗口，软件：TEAM（频谱分析，图像，多点，线扫描，数据记录（�/span>

电子光学系统

分辨玆�/span>

5nm (30kV� 二次电子成像)

放大倍率

20x~100�?00x

加速电厊�/span>

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探测�?/span>

二次电子探测器（SE（�/span>

电子�?/span>

预对中钨灯丝

载台系统

载台运动

5轴系� (X� Y� R� Z� T -手动)

X� Y-轳� 40mm / R-轳� 360��

Z-轳� 0~35mm / Tilt-� : 0~45��

* 影像偏移 : ��150��m

**样品尺寸

80mm�?#934;�?35mm（H（�/span>

成像系统

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮�?/span>

图像格式

BMP� JPEG� PNG� TIFF

真空系统

真空模式

高真空（低真空可选）

真空泴�/span>

旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动（�/span>

尺寸与重野�/span>

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm� 88kg

控制单元

390(W)x325(D)x560(H)mm� 37kg

旋转泴�/span>

400(W)x160(D)x340(H)mm� 24kg

晶圆 (SE/10 kV/30�?00x)

氮化�?SE/15 kV/10�?00x)

二氧化硅（SE/20 kV/30�?00x�

氧化锌（SE/5 kV/15�?00x（�/span>