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原子力显微镜全自动型AFM5500M
原子力显微镜全自动型AFM5500M的图?/></a></div></div></div> <div class=
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AFM5500M 主机
马达?/th> 自动精密马达?/p>

**观察范围?00 mm ?英寸）全埞/p>

马达台移动范围：XY 50 mm、Z ?1 mm

*小步距：XY 2 m、Z 0.04 m
**样品尺寸 直径?00 mm?英寸）、厚度：20 mm

样品重量? kg
扫描范围 200 m x 200 m x 15 m （XY：闭环控 / Z：感应器监控（/td>
RMS噪音水平* 0.04 nm 以下（高分辨率模式）
复位精度* XY: ?5 nm(3、计?0 m的标准间? / Z: ? nm (3、计?00 nm 的标准深?
XY直角?/th> 0.5
BOW* 2 nm/50 m 以下
检测方弎/th> 激光检测（低干涉光学系统）
光学显微镛/th> 放大倍率：x1 x7

视野范围?10 m x 650 m 130 m x 90 m

显示倍率：x465 x3?55?7英寸显示器）
减震?/th> 台式主动减震 500 mm（W x 600 mm （D x 84 mm （H）、约28 kg
防音?/th> 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H) 237 kg
大小？重野/th> 400 mm（W x 526 mm（D x 550 mm（H）、约 90 kg

  • * 参数与设备配置及放置环境相关、/p>

AFM5500M 专用原子力显微镜工作竘/caption>
OS Windows7
RealTune?II 自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈
操作画面 操作导航功能、多窗口显示功能（测?分析）?D图像叠加功能、扫描范?测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功胼/td>
X Y Z扫描驱动电压 0?50 V
时时测试（像素点（/th> 4画面?*2?48 x 2?48（/p>

2画面?*4?96 x 4?96（/td>
长方形扫揎/th> 2:1?:1?:1?6:1?2:1?4:1?28:1?56:1?12:1??24:1
分析软件 3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分枏/td>
自动控制功能 自动更换悬臂、自动激光对?/td>
大小？重野/th> 340 mm（W x 503 mm（D x 550 mm（H）、约 34 kg
电源 AC100 240 V　10% 交流
测试模式 标配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 选配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM

  • * WINDOWS 是、美 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标、/p>

  • * RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标、/p>

选配项：SEM-AFM联用系统
可适用的日立SEM型号 SU8240、SU8230（H36　mm型）、SU8220（H29 mm型）
样品台大導/th> 41 mm（W x 28 mm（D x 16 mm （H（/td>
**样品尺寸 20 mm x 7 mm
对中精度 10 m （AFM对中精度（/td>

1. 自动化功胼/h3>

  • 高度集成自动化功能追求高效率检浊/p>

  • 降低检测中的人为操作误?/p>

4英寸自动马达?/p>

自动更换悬臂功能

2. 可靠?/h3>

排除机械原因造成的误?/h4>

  • 大范围水平扫揎/p>

  • 采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果、/p>

    AFM5500M搭载?*研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试、/p>

Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

  • 高精角度测量

  • 普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因、/p>

    AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像、/p>

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

  • * 使用AFM5100N（开环控制）旵/p>

3. 融合?/h3>

亲密融合其他检测分析方弎/h4>

通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察？分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等、/p>

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨?SiO2（/h4>

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1 ASTRON Inc.

上图是AFM5500M拍摄的形状像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据、/p>

  • 通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄、/p>

  • 石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差、/p>

  • SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因、/p>

今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用、/p>

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