特色

1. 环境控制功能（大气，真空，液体，温控等）

AFM5300E能够实现高真空的测试环境�?*限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量� 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。另外，新开发的『温度扫描功能』可监视样品Z方向的热胀冷缩，通过控制反馈信号，使悬臂在变温环境下连续测试样品表面的物理特性、�/span>

2. 简便操作（综合型Holder Flange（�/h3>

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整� 也省去测试模式切换时的支架更換环节、�/p>

3. **的高性能

4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精�?/h3>

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析、�/p>

规格

分辨玆�/th>	原子盷�/td>
样品尺寸	20 mm��、厚�?0 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围	X-Y stage 5 mm
扫描范围	标准� 20 ��m�?1.5 ��mH ? 150 ��m�?5 ��mH ? 15 ��m�?1.5 ��mH（闭环差控制（�/p> 定位显微� ? 简易显微镜�?#215;200倍） ? 光学显微镜（��1000倍） ? 变焦显微镜（��700倍） ? 金相显微镜（装有微分干渉）（��2000倍）
检测功胼�/th>	AFM（接触模式） DFM（轻敲模式） PM（相位） FFM（摩擦） MFM（磁力） SIS模式 LM-FFM（横向摩擦） VE-AFM/DFM（粘弹性） Adhesion（吸附力（�/p> CURRENT（电流） SSRM（扩展抵抗） SNDM（非线性介电常数） PRM（压电响应）、KFM（表面电位） 液体中AFM/DFM EC-AFM/STM NanoIndentation（硬度） Nano-TA（微区加热）
选配仵�/th>	高温加热样品�?/p> 加热冷却兼用样品�?/p> 冷却真空 温度控制