SU-70电子显微镜是一种新概念扫描电子显微镜，它采用了日立经过实地验证� "semi-in-lens"超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。除了具有超高分辨率�?.0 nm/15 kV�?.6 nm*/1 kV）的特点外，它还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像，成分构成对比图像，超低加速电压图�?。肖特基场发射电子枪的探针电流为100 nA，可进行各种各样的分析操作（X 射线能谱�?� X射线波谱�?，电子背散射衍射系统*等）、�/span>