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载物台行稊450mm(X)x400mm(Y)x200mm(Z)
应用领域9/strong>
适用于中等尺寸零部件和对载物台上的多个工件执行序列测野/span>
Type1~3 中型尺寸PCB、冲压钣金件筈/span>
Type4/TZ 300mm晶圆?00mm探针卡等
TypeA 中型尺寸机械零件、塑料模制件筈/span>
类型1??-标准倍率变焦夳/strong>
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X
类型1??使用尼康15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主?.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内?外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘、/span>
类型4和TZ-高倍率变焦夳/strong>
Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X
类型4和TZ使用尼康15X?20X变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类?配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光?0度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头?6~120x)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器、/span>
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用尼康10X变焦光学系统,具有低部率精度范围?宽的视场?长的工作距离?*的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光、/span>
8段LED内外环形照明?/strong>
Type1~3
类型1??配有8段LED内外环形照明器,能够提供**照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以?个照明器段的任意方向选反37度?5度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度、/span>
改善不确定度
尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度、/span>
规格
型号 |
VMZ-R4540 |
XYZ行程 |
450X400X200 |
*小读取单佌/span> |
0.1微米 |
被测?*重量 |
40kg |
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE |
1.2+4L/1000um |
EUXY、MPE |
2+4L/1000um |
Z轴测量精度(激光自动对焦) |
1.2+5L/1000um |
摄像夳/span> |
黑白1/3英寸CCD、彩?/3英寸CCD(选购件)›/p> ※彩色摄头选购件只能与类型1?和A配合使用、/span> |
物镜镜头的工作距禺/span> |
|
类型1?? |
37度斜角时?0mm?5度斜角时?6mm?8度斜角时?0mm |
类型4 |
30mm |
类型TZ |
使用主物镜镜头时?1mm,使用左侧物镜镜头时?2mm |
类型A |
未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm |
倍率和视圹/span> |
|
类型1 |
0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm |
类型2 |
1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm |
类型3 |
2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm |
类型4 |
4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068 |
类型TZ |
1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm |
类型A |
0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm |
自动对焦 |
类型1???和TZ配备TTL激光AF和图像AF 类型A标配图像AF,激光AF作为选购提供 |
照明?/span> |
|
类型1?? |
LED落射和透射照明器,8段LED内外环型照明器(内部环形照明器呈37度斜角,外部环形照明器呈55度和78度斜角) |
类型A |
LED落射和透射照明器,?8度斜角的8段LED环形照明?/span> |
电源 |
AC 100-240V10% 50?0HZ |
使用电流 |
5A-2.5A |
主机尺寸和工作台 |
1000X1340X1820mm/?00kg |
控制器尺寷/span> |
190X450X440mm /?5KG |
占地(含工作台上的PC) |
2300X1700mm |
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