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场发射扫描电镜热场式SU5000
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日本
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特色

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨玆 顶位二次电子探测?2.0 nm at 1kV)）/p>

  • 高灵敏度: 高效PD-BSD 超强的低加速电压性能，低?00 V成像

  • 大束?>200 nA): 便于高效微区分析

  • 性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测?UVD)）/p>

  • 开仓室快速简单换?**样品尺寸: 200 mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS WDS EBSD等等

  • *９/p>

  • 选配附件

规格

项目 内容
分辨玆/th> 1.2 nm @ 30 kV

3.0 nm @ 1 kV

2.0 nm @ 1 kV 减速模弎span>*1

3.0 nm @ 15 kV 低真空模弎span>*2
放大倍率 10 - 600?00 (底片倍率) 18 - 1?00?00 (800 600 像素)

30 - 1?00?00 (1?80 960 像素)
电子光学系统 电子?/th> ZrO /W 肖特基式电子?/td>
加速电厊/th> 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电厊/th> 减速模弎 0.1 - 2.0 kV?
**束流 > 200 nA
探测?/th> 低位二次电子探测?/td>
低真空模弎span>*2 真空范围: 10 - 300 Pa
马达?/th> 马达台控刵/th> 5 - 轴自 (优中?
可动范围 X??00mm

Y??0mm

Z??5mm

T?20?0

R?60
**样品尺寸 **直径: 200 mm

**高度: 80 mm
选配探测?/th>

  • 高分辨率顶位二次电子探测?span>?

  • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)

  • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3

  • 能谱 (EDS)

  • 波谱 (WDS)

  • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

  • *1９/p>

  • 减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

  • *2９/p>

  • 低真空功能（包含5分割半导体探测器（/p>

  • *3９/p>

  • 空压?本地采购)

应用案例

样品: 氧化锌粉?/p>

着陆电厊 1 kV ; 倍率: 120?00x

低电压下顶位二次电子探测器成僎/p>

样品: PTFE

加速电厊 3 kV ; 倍率: 13?00x

UVD探测器可在低加速电?3 kV)和低真空

(40 Pa) 下获得高质量图像

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