特色

• 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察

• 从低真空到大气压（数 Pa�?05Pa），可在大范围压力下进行SEM观察

• 标准搭载ES-Corrector（电子束散射校正）图像改善功胼�/p>

• 在真空模式下，除了通常的SEM观察之外，还可进行EDX分析（选配（�/p>

• 主机采用330 mm宽度的小型设计，实现节省空间和高便利�?/p>

• 无需等待抽真空时间，快速实现从搭载样品到观察图像的全过稊�/p>

• 概要

大气压观察（�?（�/h4>

• 样品设置在标准大气压环境下（105Pa（�/p>

• 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离，在保持SEM内部真空的同时，可对样品进行电子束照射观寞�/p>

• 而且，可通过附带的真空泵在负压下（约103�?05Pa）进行观寞�/p>

低真空观察（�?（�/h4>

• 隔膜可拆卸，还可进行低真空SEM观察和EDX分析

• 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器

�?：大气压或负压观察时

�?：低真空观察旵�/p>

规格

项目	内容
电子�?/div>	预对中灯东�/div>
检测系绞�/div>	高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器
加速电厊�/div>	5 kV/15 kV
倍率	��15�?#215;60�?00（使用数码变焦时�?#215;240�?00（�/div>
观察压力	大气压模式（10 5Pa）（装有隔膜时）
	负压模式（约10 3Pa�?0 5Pa）（装有隔膜时）
	低真空模式（� Pa～数10 Pa）（拆下隔膜时）
**样品尺寸	直径55 mm
大小和重野�/div>	主机�?30（W�?#215;687（D�?#215;565（H）mm� 67.0 kg（手动操作台（�/p> 控制装置�?20（W�?#215;368（D�?#215;235（H）mm� 11.8 kg 隔膜泵：145（W�?#215;256（D�?#215;217（H）mm� 4.5 kg ��2�?/div>

应用实例

材料领域

含水再生纤维素纤维的干燥动态观寞�/h4>

样品提供：旭化成株式会社 乙部先生

将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分，然后在大气压下进行了观察、�/p>

首先观察到纤维之间的水分蒸发，然后是纤维内部的水分蒸发，并因此纤维本身收缩，*后是整个样品收缩的情景、�/p>

根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果，得出含水时膨胀30%，和含水时的纤维膨胀率、�/p>

ZEPTORON PP（聚丙烯纳米纤维）的经时观察

试样提供：Zepto Co.� Ltd.

在疏水性优异的此样品中，可看到油渗入纤维内，水分不会渗入，所以可观察到水分在纤维上的情景、�/p>

植物领域

花粉

光学显微镜观察后，无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察、�/p>

杜鹃花花粈�/h4>

食品领域

味噌（自家制（�/h4>

干燥的意大利靡�/p>

在大气压下观察干燥的意大利面的表面后，在真空中观察同一样品，可观察到表面有大量裂纹、�/p>

推测是在真空环境下，样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏，即使是干燥的样品，如果想观察本来的形状，通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法、�/p>

生物领域

大肠杆菌

大肠杆菌经过培养后，用纯水稀释，涂抹在塑料板上，用甲醇固定后进行了观察（无染色）、�/p>