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发射扫描电子显微镜ReguluS
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现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100、/p>

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子?span>*1,可以获得高稳定的束流、/p>

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220? kV条件下分辨率提高?.9 nm,Regulus8100的分辨率提高?.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右、/p>

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去?00万倍提升到200万倌span>*1、/p>

Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器?*性能、/p>

  • *1

  • 仅限Regulus8240/8230/8220

特色

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析?*性能

  • 与现有机型相比分辨率提高?0%左史/p>

    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仒/p>

  • 运用能量过滤?选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观寞/h3>

样品:金颗粒

着陆电压:10 V

超高分辨观察

样品:Pt催化剁/p>

加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品:Sn琂/p>

着陆电压:1.5 kV

  • *2

  • 仅限Regulus8240/8230/8220

    规格

    项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
    二次电子分辨玆/th> 0.8 nm

    (加速电?5 kV(/p>

    1.1 nm

    (着陆电? kV(span>*3

    0.7 nm(加速电 15 kV(/p>

    0.9 nm(着陆电 1 kV(span>*3

    着陆电厊/th> 0.1? kV 0.01?0 kV
    放大倍率 20??00?00倌span>*4 20??00?00倌span>*4
    样品?/th> 样品台控刵/th> 3轴马达台(可?轴马达台(/td> 5轴马达驱?/td>
    移动范围 X 0?0 mm 0?0 mm 0?10 mm 0?10 mm
    Y 0?0 mm 0?0 mm 0?10 mm 0?0 mm
    R 360
    T -5?0
    Z 1.5?0 mm 1.5?0 mm
    再现?/th> - - - 0.5 m以下?#177;0.5 m
    • *3

    • 减速模式下观察

    • *4

    • ?27 mm 95 mm底片为基准的倍率

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