Showerhead，应用于半导体集成电路制程刻蚀设备中，在晶圆制造刻蚀环节，作为附加电压的电极，还作为是刻蚀气体进入腔体的通路，是晶圆制造刻蚀环节所必需的核心部件、�/p>

技术优劾�/p>

1.原料自制品质可控，具有成熟的加工和清洗技术，可以满足客户不同的表面状态需求、�/p>

2. 气孔内壁加工后无破碎层、�/p>

3.*小加工孔径为0.2mm、�/p>