盒式硅舟又叫cassette boat，是一种小型一体式硅舟，主要应用在4寸到6寸卧式高温炉，适用�?250℃以下制程、�/p>

技术优劾�/p>

硅舟材质为高纯硅产料，不存在表面沉积层，长期使用不会出现变形及表面材料脱落问题；

可长期保证硅舟不会出现本体污染；