采用**Si-Fusion**，可实现硅与硅之间的熔接，各部件熔接形成的硅舟可应用�?100-1200℃的高温处理工艺和CVD-Poly沉积工艺、�/p>

技术优劾�/p>

1.可进行硅舟结构的定制化设计，包括沟棒形状，沟齿长度、形状、倾斜角度，以及硅舟的总载片量、�/p>

2.高温硅舟可以有效减少硅片的接触损伤，提升制程良率、�/p>

3.熔接硅舟可以对损坏部件进行更换，降低持有成本、�/p>

4.硅舟拥有较大的多晶硅沉积上限，可以有效减少设备PM频率，提升产能、�/p>