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1200加长双温区CVD系统
1200加长双温区CVD系统的图?/></a></div></div></div>         <div class=
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暂无
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上海
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产品简今/div>

简今/span>

1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉,多通道高精度质量流量计混气系统,高真空分子泵系统等组成。可实现真空?.001Pa混合气体化学气相沉积、扩散实验。同时上海煜志良好的售后服务,使得该产品的整体评价远超同行业标准、/span>

主要技术参?/span>

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结枃/span>

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能奼/span>

双层壳体结构,内置风冷层,有效降低外壳表面温?/span>

炉盖可开启,可以实时观察加热的物斘/span>

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小:/span>

尺寸?#934;60/80/100*1200mm

法兰及支撐/span>

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真穹/span>

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合

加热系统

加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用:/span>

加热区长度:350mm*2:/span>

恒温区长度:450mm

工作温度:≤1150℃;

**温度?200℃;

升温速率:推荐≤10?min:/span>

*快升温速度30?min.

温控系统

日本富士仪表?4段控温程序,可分步、分段;

测温元件:N型热电偶 控温精度?#177;1

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控刵/span>

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流野/span>

流量规格?~1SLM 流量精度?#177;1.5%

法兰上预留一路浮子流量计,流量规?.3-3L/min

真空系统

采用双极旋片真空?分子泵,极限真空可达4.0*10-4Pa

复合真空计显示,配置电阻?电离觃/span>

抽速:110L/s,风冷式散热结构

配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀

可选配仵/span>

冷水机,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件等

保修朞/span>

整机一年保修(相关耗材除外(/span>

可根据客户要求定制!

特色与优劾/span>

1.加长双温区炉体,大大加长了实验区域的温度均匀性;

2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度:/span>

3.日本富士温控仪表?4段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;

4.双极旋片真空?分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa:/span>

5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统,可满足不同气氛下的实验要求;

6.内置S型热电偶,可快速、实时监测反应物料的温度变化情况:/span>

7.尾气活性炭过滤处理,减少反应气体排放对实验室环境的影响、/span>

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