Phasics SID4系列波前传感?/span>
法国Phasics 公司的产品基于其波前测量**技术，? 波横向剪切干涉技术。（4-Wave Lateral Shearing Interferometry）。在增强型改进型哈特曼掩模的基础之上，这种独特技术将高分辨率和大动态范围较好结合在了一起。任何应用下，其都能实现全面、简便、快速的测量。具有如下独特技术优势：
高分辨率的相位图，高分辨率可辽/span>400ｗ/span>300、/span>
具有直接测量高发散光束的能力
消色?/strong>，匹酌/span>CCD整个探测范围，用于不同波长光而无需额外校准、/span>
应用方向９/span>
激光束质量分析
自适应光学
光学系统测量
生物成像
热成像，等离子体表面物理
型号 |
SID4 |
SID4-HR |
SID4-DWIR |
SID4-SWIR |
SID4-NIR |
SID4-UV |
SID4 UV-HR |
孔径 |
3.6 4.8 mm2 |
8.9 11.8 mm2 |
13.44 10.08 mm2 |
9.6 7.68 mm2 |
3.6 4.8 mm2 |
7.4 7.4 mm2 |
8.0 8.0 mm2 |
空间分辨玆/span> |
29.6 m |
29.6 m |
68 m |
120 m |
29.6 m |
29.6 m |
32 m |
采样炸/span>/测量炸/span> |
160 120 |
400 300 |
160 120 |
80 64 |
160 120 |
250 250 |
250 250 |
波长 |
400 nm ~ 1100 nm |
400 nm ~ 1100 nm |
3 ~ 5 m 8 ~ 14 m |
0.9 ~ 1.7 m |
1.5 ~ 1.6 m |
250 ~ 450 nm |
190 ~ 400 nm |
动态范図/span> |
> 100 m |
> 500 m |
N/A |
~ 100 m |
> 100 m |
> 200 m |
> 200 m |
精度 |
10 nm RMS |
15 nm RMS |
75 nm RMS |
10 nm RMS |
> 15 nm RMS |
20 nm RMS |
10 nm |
灵敏?/span> |
< 2 nm RMS |
< 2 nm RMS |
< 25 nm RMS |
3 nm RMS (高增益）< 1 nm RMS (低增益） |
< 11 nm RMS |
2 nm RMS @ 250 nm 2 J/cm2 |
0.5 nm |
采样频率 |
> 100 fps |
> 30 fps |
> 50 fps |
25/30/50/60 fps |
60 fps |
30 fps |
30 fps |
处理频率 |
10 Hz (高分辨率) |
3 Hz (高分辨率) |
20 Hz |
> 10 Hz (高分辨率（/span> |
10 Hz |
> 2 Hz (高分辨率（/span> |
1 Hz |
尺寸 |
54 46 75.3 mm |
54 46 79 mm |
85 116 179 mm |
50 50 90 mm |
44 33 57.5 mm |
53 63 83 mm |
95 105 84 mm |
重量 |
250 g |
250 g |
1.6 kg |
300 g |
250 g |
450 g |
900 g |