Phasics利用其四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了较好的解决方案。它有非常高空间分辨率（250x250测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度＇/span>0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件、/span>
SID4-UVHR光学器件测量自适应光学
特点９/span>
由于其独特的**技术技术，Phasics皃/span>SID4-UVHR波前传感器具备以下特点：
1.超高分辨率：250x250测量炸/span>
2.高灵敏度９/span>0.5nm
3.通光孔径?/span>９/span>8*8mm
4.直接测量：光学元件和表面质量
应用９/span>
SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用：
紫外激光器：光束测试与校正
光学测量９/span>UV光学测试（半导体…）和表面测野/span>
SID4-UVHR产品参数９/span>
波长范围 |
190 - 400 nm |
通光孔径 |
8 x 8 mm2 |
空间分辨玆/span> |
32 m |
采样点（相位/强度（/span> |
250 x 250 (> 62 500 points) |
相位相对灵敏?/span> |
0.5 nm RMS |
相位精度 |
10 nm RMS |
动态范図/span> |
~ |
采样频率 |
> 30 fps |
实时分析频率 |
1 fps (full resolution) |
数据接口 |
Giga Ethernet |
尺寸(w x h x l) |
95 x 105 x 184 mm |
重量 |
~900 g |