Energetiq激光驱动白光光源LDLS EQ-99X
Energetiq激光驱动白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱光源，采用LDLS?激光驱动光源技?/span>，使用高功率连续激光直接聚焦氙灯内的氙离子加热至非常高的的温度，从而发出高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命，紫外功率高等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括深紫外线＇/span>DUV（/span>并覆盖从可见光到近红外光区（NIR），波长范围仍/span>170nm?/span>2100nm以上、/span>
产品特点９/span>
连续激光等离子体发光，100-200m光斑
整个光谱具有高亮度（170-2100nm（/span>
可取代氘灯，卤素灯，氙灯等多种灯
非常好的空间和功率稳定?/span>
超净间装配提高稳定性和寿命
无电极长寿命运行，降低运行成?/span>
应用９/span>
紫外可见红外光谱，显微，单色仪光溏/span>
半导体厚度测量，形貌测量
光学元件测量
环境，气象监测，气相测量
材料表征，先进成僎/span>/照明
长寿命灯应用
产品参数９/span>
产品型号 |
EQ-99X |
EQ-99XFC |
EQ-77 |
EQ-400 |
波长范围 |
170-2100nm |
190-2100nm |
170-2100nm |
170-2100nm |
输出功率 |
0.5W |
70mW |
2W |
15W |
典型亮度 |
10 mW/mm2.sr.nm |
60 W/nm |
40mW/mm2.sr.nm |
100mW/mm2 .sr.nm |
数值孔徃/span> |
Up to 0.47 |
0.22 |
Up to 0.5 |
Up to 0.5 |
光源寿命 |
?/span>10000 hrs |
?/span>10000 hrs |
?/span>10000 hrs |
?/span>10000 hrs |
同步输出 |
自由空间 |
光纤耦合 |
自由空间 |
自由空间 |
光源重量 |
0.7kg |
0.7kg |
2.2kg |
2.7kg |
冷却方式 |
风冷 |
风冷 |
水冷 |
水冷 |
光源尺寸 |
82.3*85.7*76.2mm |
82*86*76mm |
128*175*102mm |
135*145*56mm |
目前LDLS激光驱动白光光源已广泛应用于科研和工业生产，超迆/span>2000台光源出货，中国大部分高校和部分半导体检测厂家均在使用该光源且反馈良好！
产品技术优势：
1.宽光谱，高亮?/span>９/span>LDLS激光驱动白光光源具有很宽的光谱表现，从深紫夕/span>-可见先/span>-近红外全覆盖，在170-2100nm均有极高的亮度表?/span>
由下图我们可以看凹/span>EQ-99光源亮度在紫外区域是75W氙灯皃/span>10倍，可见光区域也是数倍；对于30W的氘灯亮度更?/span>100倍以上、/span>
2.长寿呼/span>９/span>LDLS激光驱动光源在工作10000小时后仍具有90%输出功率，而氙灯下降到50%只需?/span>2000小时，氘灯只需?/span>1000小时，极大地节约换灯，中断实骋/span>/产品线调试等运行成本，另夕/span>LDLS还也可以?/span>24*7条件下持续工作、/span>
3.光斑极小９/span>下面三幅分别为氙灯，LDLS激光驱动白光光源的等离子发光体图。经过测试氙灯尺寸大亍/span>2mm*2mm＋/span>EQ-77约为150*300m＋/span>EQ-99约为70*145m。极小的等离子体光斑带来非常高亮度。易于聚焦于光谱?/span>/分光仪，光路搭建，在使用200m以下狭缝时具有非常高的优越性，进入的能量比普通光源能高达10-100倍；另外耦合于光纤中具有非常好的效果＋/span>EQ-99XFC使用200m光纤可以输出50mW的光，而普通氙灯卤素灯几乎很难耦合、/span>
氙灯（左）和LDLS（右）等离子体实物图
4.等离子体位置/功率非常稳定９/span>下图为等离子体中心位置监测图，在200Hz频率下共2500个监测点，平均纵向不稳定度为0.094m，横向不稳定度为0.145m，具备了极高的光斑位置稳定性，从而保证了测量过程和结果的稳定性、/span>1000个积分时间为8ms兰/span>8s强度测量，平均强度不稳定性为0.25%，峰峰值不稳定性为0.55%、/span>
等离子体中心位置强度不稳定性测野/span>
