硅片厚度测量仪SIT-200
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测、/span>
产品特点９/span>
l 全光学，非接触硅片厚度测诔/span>
l 高动态范围测量粗糙表靡/span>
l 湿法刻蚀过程中实时测野/span>
高灵敏度高精?/span>快速测野/span>远程控制
结构示意国/p>
SIT-200
产品参数９/span>
测量目标 |
硅片 |
测量厚度 |
10-500m |
光源 |
1515-1585nm扫描 |
功率 |
0.6mw＋/span>Class1 |
指示光源 |
红光＋/span>Class1M |
测量时间 |
20ms |
重复?/span> |
0.1m |
输出监控 |
干扰信号（电学） |
PC接口 |
网口 |
供电 |
100-240V＋/span>50/60Hz |
尺寸 |
364 x 147 x 391mm |
重量 |
9kg |
