THERMAL NIL桌面弎�/span>纳米热压印机

产品描述

NIR-MFD-S-SM-2 NILT CNI实验用纳米热压印机是专为实验室和研发机构设计和开发的简单易用、性能稳定的研发型设备，用户可以通过CNI设备高效、低成本地实现高精度的纳米热压工艺，许多知名的研发机构均购买亅�/span>CNI的设备、�/span>NILT CNI热压设备＋�/span>

产品特点

占地小、操作简侾�/span>

可实现高质量的图形复刵�/span>

可实现纳米热压设备的一切功能，而无需昂贵的工艺设备、�/span>

应用领域

在硅片上制作纳米级光栄�/span>

压印易碎的材料（例如III-V族材料）

微结构加�?/span>

制作压印印章

保护母版的适用寿命

热压高深宽比结构图形

THERMAL NIL主要性能指标９�/span>

集成控温卡盘，可对温度进行测量、控刵�/span>压印程序可进行编程（温度、压力、时间）可适用亍�/span>100mm＇�/span>4英寸以下）所有尺寸和形状的压印模板、�/span>可适用亍�/span>Silicon� Quartz� Nickel and Polymer materials压印程序可进行编稊�/span>适用所有热压印材料设备可用于复制压印母松�/span>压印温度可达200摄氏�?/span>压力范围９�/span>1�?0 bar压印精度９�/span>40nm或更�(可完成工艺验攵�/span>)将模板加热和温度测量集成与压印载盘上载盘适用于易碎衬应�/span>快速升温，快速降温，拥有**技术的卡盘设计，可保证快速升温、降温并保持良好皃�/span>温度均匀性、�/span>20℃�?30℃�?0ℂ�/span>少于8分钟提供COC有机聚合物中间层软膜�?**的母板复制工艺），耗材及工艺培�?/span>提供压印相关材料提供工艺培训和支�?/span>

压印实例

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT)高分子聚合物中间层压印技术可以实现纳米压�?span>/热压印非平面化的压印，同时高分子聚合物中间层的热塑弹性材料实现纳米结构的转移和复制。可保护昂贵的母板因多次转印而损坏，同时用于母板的复制、�/span>

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT)部分应用实例９�/span>仿生应用用于制作昆虫眼部六角结构 微型注射针头结构

方形结构阵列500nm

Distributed feedback laser array (DFB（�/span>分布式反馈激光器＋�/span>240nm光栅结构

Demonstration of imprint on Indium Phosphide (InP)磷化铞�/span>Protrusion height突出高度９�/span>112 nm纳米

订购型号９�/span>

CNI-V2.1桌面式纳米热压印朹�/span>参数：热零点高达240摄氏�?/span>，UV NIL@365nm＋�span>压印压力:0.3臲�/span>11Bar＋�span>真空压印＇�/span>1mbar（�/span>＋�span>印章和基板尺寸：高达200 mm