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束蕴仪器(上海)有限公司
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X射线仪器
半导体行业专用仪?/a>
单晶硅片少子寿命测试?MDPspot台式单点寿命检测仪
微波光电导衰减法-MDPmap晶圆片寿命检测仪
MDPlinescan在线晶圆?晶锭点扫或面扫检测仪
少子寿命测试?MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪
单点硅片寿命测试MDPpro晶圆?晶锭寿命检测仪
无损检?无损探伤仪器
工业部件缺陷高分辨三维X射线显微成像系统
高分辨三维X射线显微成像-地质、油气勘探CT
微焦点CT半导体元器件X射线显微成像-布鲁克代理商
(3D-XRM)高容量三维X射线显微成像系统SkyScan 1273
(3D-XRM)高容量三维X射线显微成像系统SkyScan 1273
高分辨显微CT纳米CT SKYSCAN 2214
生物医疗
波谱仪器
EN 13708-2001 ESR光谱法检测含纤维素经过辐射的食品
布鲁克电子自?顺磁)共振波谱?ESR) MS 5000
丙氨酸剂量测定系统Magnettech MS 5000
布鲁克台式电子顺磁共振波谱仪Micro ESR
其他
热释光考古测定?lexsyg research科研型释光仪
LEDSF便携式荧光光谱仪
LEDSF便携式荧光光谱仪
实验室服加/a>
光谱检测分析仪
产品简今/div>
桌面单点测量
低成本的台式寿命测量系统,可在不同的制备阶段表征各种不同的硅样品,没有内置的自动化。可选配手动z轴,用于厚度?56毫米以下的晶锭。结果可视化的标准软件MDPspot包括一个额外的电阻率测量选项。电阻率测量仅适用于硅,可用于没有高度调整可能性的晶圆片,也可用于晶锭。须预定义这两个选项之一
特?/span>
无接触破坏的电子半导体特?/span>-PCD测量选项外延片不可见的缺陷和检测的灵敏度的可视匕/span>集成多达四个激光器适用于一个广泛的注射水平获取单一瞬态的原始数据以及用于特殊评估目的的图
优势
用于不同制备阶段,从成体?终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置、/span>
体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化、/span>适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整、/span>
技术参?/span>
样品 |
不同的处理步骤,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池、晶圅/span> |
样品尺寸 |
50 x 50 mm2 ?2 ?10 x 210 mm2 |
电阻玆/span> |
0.2 - 103 Ohm cm |
材质 |
硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,复合半导体和更多其它类 |
检测性能 |
载流子寿呼/span> |
尺寸 |
360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg |
电源 |
110/220 V 50/60 Hz 3 A |
其它细节
允许单片调查不同种类的晶圆片有不同的菜单监控材料、工艺质量和稳定?/span>
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