Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

应用范围９�/span>用于精密材料研发的单晶和多晶片的寿命测量

特�?/span>

●灵敏度：外延片不可见的缺陷和检测的 灵敏度的可视匕�/p>

●测量速度�?英寸硅晶圆片�?mm分辨� ，小�?分钟

●使用寿呼� 20纳秒到几毫秒

●污染测定：源自炉和设备的金�?Fe)污染

●测量能力：从初始切割的晶圆片到完全加工的样�?/p>

●灵活性：固定测量头允许外部激光与触发器耦合

●可靠性： 模块化和紧凑的台式仪器，更高的可靠性和正常运行时间> 99%

●重现性： > 99.5%

●电阻率：不需要频繁校凅�/span>

用于研发或生产监控的灵活检测工其�/span>

MDPmap是一个紧凑的台式无触点电子特性的离线生产控制或研发的工具。可测量参数如载流子寿命、光电导性、电阻率、缺陷信息在稳态或注入范围宽短脉冲励磁(��-PCD)。自动化的样品识别和参数设置可以方便地适应各种不同的样品，包括在不同的制备阶段，从生长的晶圆片到高�?5%的金属化晶圆片的外延片和晶圆片。�

MDPmap的主要优点是其高度的灵活性，它允许集�?�?个激光器，用于从超低注入到高注入的依赖于注入水平的寿命测量，或者使用不同的激光波长提取深度信息。包括偏置光设施以及��-PCD或稳态注入条件的选项。可以使用不同的图进行客户定义的计算，也可以导出原始数据进行进一步的评估。对于标准计量任务，可用一个预定义的标准，使常规测量只需按一个按钮、�/span>