应用范围９�/span>灵活皃�/span>OEM设备，用于多种不同样品的在线寿命测量：从单晶硅到多晶硅锭，从生成态晶圆片到不同镀层或金属化晶圆的过程控制、�span>标准软件接口，易于连接到许多处理或自动化系统、�/span>

在线面扫和单点检浊�/span>

MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描、�/p>

样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒、�/span>

电池生产线上的来料质量检查是*常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品、�/span>

还有许多其他的专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源、�/span>

产品介绍

l各种不同的样品，从单晶硅到多晶硅，从生长的晶片到加工过的晶片，都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测、�/span>

lMDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描、�/span>

l样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒、�/span>

该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源即可、�/span>例如＋�/span>电池生产线上的来料质量检查是兵�/span>*常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品、�/span>

优势

l�?/span>��-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点、�/span>

l用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圅�/span>，包括材料制备，和各种工艺处理阶段、�/span>

小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度、�/span>

技术参�?/span>

样品种类	多晶或单晶晶元片� 晶锭，晶胝�/span>
样品尺寸	大约50 x 50 mm2
电阻玆�/span>	0.2 - 103 Ohm cm
电导类型	p� n
材质	硅晶圆，部分或完全加工晶圆，化合物半导体筈�/span>
测量属�?/span>	载流子的少子寿命
硬件接口	ethernet
大小	174 x 107 x 205 mm� 重量: 3 kg
电源	24 V DC� 2 A