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X射线仪器
半导体行业专用仪?/a>
波谱仪器
光谱检测分析仪
技术特点▼
u全自动的垂直三轴衍射仪,使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方吐/span>、/span>配备可容纳长辽/span>450毫米?0公斤皃/span>样品叉/span>样品枵/span>:/span>
u自动匕/span>测量+/span>并通过定制软件进行访问。利?/span>Omega扫描,可在晶体旋?5?中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活,但每次扫描只产生一个方向分野/span>:/span>
u精确地确定倾斜角度+/span>Theta扫描精度辽/span>?/span>0.001:/span>
u模块化系绞/span>,并配备亅/span>多功能需求扩展、/span>
行业应用▻/span>
具有多种几何形状和大小的样品
根据材料和产量的不同,晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状、/span>Omega/Theta X射线衍射仪可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体、/span>
非线性光学材斘/span>(NLO):晶体质量和定向
与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比,NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性、/span>这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒,耋/span>对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹、/span>通过对Omega/Theta的设计进衋/span>皃/span>一些特殊的修改+/span>我们的定向仪能够确定许多NLO材料,如LBO BBO和TeO2皃/span>的晶向、/span>
平面方向的标记和测量
Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此,平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能,以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口、/span>
摇摆曲线:晶体表面评件/span>
摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合,可以扫描晶体表面并确定缺陷区域、/span>通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪,可以直接测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射、/span>
如下图显示的结果,这种映射的碳化硅晶圅/span>牆/span>的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线皃/span>FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关、/span>
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