弗莱贝格DDCOM（台式X射线晶体定向仪）采用Omega扫描方法，可以进行超高速的晶体定向测量，用于确定各种晶体的取向、�/span>

技术特点▼

l方便快捷的晶圆检浊�/span>

l用于科研& 研发，小型实验工厁�/span>

l适用多种可测量材斘�/span>

l重量轻、成本低

l手动处理样品

工作原理▻�/span>

从样品台底部测量

- 用于晶锭、晶圆、芯片的检浊�/span>

- 控制切割、研磨、抛光等过程

超高速Omega扫描方法▻�/span>

l毓�/span>Theta扫描方法�?00倌�/span>

l自动评估三维完整的晶格方吐�/span>

l�?/span>5秒内测定整个晶体的方佌�/span>

紧凑，用户友好和成本效益▻�/span>

l易于移动和轻量级的桌面设讠�/span>

l样品处理方便，操作方侾�/span>

l空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)

有效的质量控制流程▼

l用于标准研究和工业工作流稊�/span>

l晶体方位设定及标礹�/span>

l预编程立方晶体参�?/span>

l先进方便的软仵�/span>

l精度高，例如高至(1/100)��

控制切割、研磨和抛光�

l单晶的完全晶格取吐�/span>

l适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如９�/span>2-12英寸的晶圆片�?0公斤以下的晶�?/span>

技术参数▼

X-ray 溏�/span>	30 W气冷式x射线管，铜阳�
检测器	两个闪烁计数�
样品枵�/span>	精密转台，设定精�?.01��，工具定义样品定位和标记
尺寸	600 mm �� 600 mm �� 850 mm
重量	80 kg
电源	100-230 V� 100 W，单盷�/span>
室温要求	� 30�� C