弗莱贝格的MDPpro（晶圆片/晶锭寿命检测仪）系列主要用于测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度及p/n检查等，其非接触式检测和无损成像�?#956;PCD /MDP(QSS)）的设计完全符合SEMI标准PV9-1110。这也使得该仪器在晶圆切割、炉内监控和材料优化等领域被广泛应用。可以说，MDPpro是晶锭生产商以及晶体炉技术生产商的标准仪器、�/span>

特�?优势▻�/strong>

u无接触和无破坏的半导体检测；

u特殊‛�span>underneath the surface”寿命测量技术；

u对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度；

u自动设置硅錠切割标准：�/span>

u空间分辨p/n电导型变换检测；

u多项数据同时自动检测扫描，5幅测量图形同时绘制；

u坚固耐用的设计和易于设置的性能。安装，仅需要电源、�/span>

应用实例▻�/strong>

1.日常寿命测量，质量控制和检骋�/span>

高产量：>240�?天或>720�?�?/p>

测量速度：对亍�/span>156x156x400mm标准晶锭＋�4分钟

良品率提升：1mm切割标准�?56x156x400mm标准晶锭

质量控制：用于过程和材料的质量监控，如单晶硅或多晶硅

沾污检测：起源于坩埚和生产设备的金屝�/span>(Fe)

可靠性：模块化和坚固耐用的工业仪器，更高可靠性，运行时间> 99%

可重复�?/span>:> 99.5%

电阻率：可做面扫描，不需经常校准

2.精密材料研发

a.铁浓度测宙�/p>

b.陷阱浓度测定

c.硼氧测定

d.依赖于注入的测量筈�/p>