MDPinline ingot系统是世界上*快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里就完成其四个面的检测，且所有的图谱(寿命，光电导率，电阻�?都可以同时进行测量�

该系统包括一个数据库和相关的统计数据评估，可自动确定精确的切割位置，以提高成品率。主要用于材料质量监控，炉选择和工艺改进、�/span>

性能▻�/span>

l无接触、无破坏的半导体特�?/span>

l少数载流子寿命的检测能劚�/span>

l先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

l自动切割标准定义

l获取体材料性质的稳态测野�/span>

l完全自动化的内联集成

l对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨玆�/span>

l测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所�?个面

Automated determination of cut off criteria

优势▻�/span>

l保持着先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界�?/span>彔�/span>、�/span>

l�?分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的

l线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控、�/span>

l对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真、�/span>

Recognition of cracks� chunks etc.

Automated cut criteria definition� lifetime map

技术参数▼

样品	多晶硅晶�?/span>
样品尺寸	125 x 125� 210 x 210 mm2
硅錠长度(Max)	600 mm
电阻玆�/span>	0.2 - 103 Ohm cm
电导类型	p� n
材质	多晶硄�/span>
检测性能	寿命(稳态或非平�?��-PCD)可选择�?，光电导�?/span>
激发光溏�/span>	980 nm （默认）
测量时间取决于样�?/span>	例如1mm分辨� 156 x 156 mm2� 300 mm：不�?分钟
尺寸	2300 x 800 x 1200 mm� 重量�?50 kg
电源	110/220V� 50/60 Hz� 8 A