MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器，在不到一秒的时间内，就可以“动态”测量出晶圆图、�/span>该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构，极大提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤、�/span>

产品优势▻�/span>

在不到一秒的时间内，可对一个晶圆片进行全电特性测试。测量参数：载流子寿呼�/span>(拓扑�?、电阻率(双线扫描)、�/span>

在非常短的时间内获得数以千计的晶圆片的统计信息可有效地帮助晶圆厂控制过程和生产、�/span>

适用于测量晶圆片的材料质量，以及识别晶圆片层面的结晶问题，例如在光伏行业、�/span>

适用于扩散过程的完整性控制、钝化效率和均匀性控制、�/span>

Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon

Microcrystalline inclusions

Investigation of passivation quality...

Cz-Si with bulk defects� separation...

Multicrystalline silicon wafers

技术参�?/span>

样品厚度	100 ��m up to 1 mm
样品尺寸	�?25 x 125 �?10 x 210 mm2 之间，或 4”到18“�/span>
电阻玆�/span>	0.2 - 103 Ohm cm
传导类型	p� n
材质	硅晶圆，部分或完全加工的晶圆片，化合物半导体�
测量性能	少数载流子寿命（稳态或非平�?��-PCD)可选择的）
测量位置	默认2.8 mm� 其它可逈�/span>
检测时闳�/span>	获得完整的一张晶圆图时间小于1科�/span>
尺寸	400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg
电源	24 V DC� 4 A