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仪器简介：
光谱薄膜测试?/strong> Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
应用领域: IC fab MEMS LED solar cell photonics nano technologies.
设备特? Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
?广泛用于检测各种薄膜的厚度 包括oxide nitride photo resist metal oxide ITO.
?膜厚范围可自20nm ?000nm. 可选各种光谱范围， 自UV 200nm到IR 1700nm.
?可具有高?2”直径自 mapping 功能，软件功能强?
技术参数：
光谱薄膜测试?/strong> Spectro-Refelctometer for Thin Film Measurement
应用领域: IC fab MEMS LED solar cell photonics nano technologies.
设备特? Angstrom Sun 光谱反射仪广泛用于各种透明、半透明薄膜测试.
?广泛用于检测各种薄膜的厚度 包括oxide nitride photo resist metal oxide ITO.
?膜厚范围可自20nm ?000nm. 可选各种光谱范围， 自UV 200nm到IR 1700nm.
?可具有高?2”直径自 mapping 功能，软件功能强?
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