技术参数：

* 输出波长�?57nm� 193nm� 222nm� 248nm� 308nm� 351nm.

* 单脉冲能量：0.3-360mJ�

* **重复频率�?0-300Hz.

* 脉冲宽度� 2.5-27ns

* 每次充气后，气体的工作寿命： **可达107 此性能指标和所用工作气体有关�

* 闸流管质保期限： 2年或3x108次工作脉冲、�/strong>

主要特点９�/strong>

* 特点：金属陶瓷腔结构，采用“柔和”的电晕预电离技术，更有效的腔内微颗粒过滤器� 采用长寿命闸流管，工作更稳定可靠。具有优异的光斑均匀性和脉冲工作稳定性。低消� KrCl 222nm 输出�

* 应用：光纤布拉格光栅制作，激光电离质谱，激光感生荧光光谱，光化学，光剥蚀和微加工，表面分析，半导体工业，时间迟豫研究，非线性光学，染料激光泵浦，脉冲激光沉积，近视眼治疗等光谱学，材料科学和医学应用、�/strong>