快�?D样貌测量泔�/span>

MEMS分析�?*频率可达25Mh

DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制�?***的快速采集，相机速度�?000fps允许９�/span>

可变形样品的3D动态研穵�/span>

常规检查与高生产率

短余辉荧光屏及大型表面的分析

捕捉生产线的三维地貌

同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供９�/span>

三维地貌的时庎�/span>

共振频率和响库�/span>

振动振幅平面外分辨率可达5pm，平面内可达1nm

表征复杂运动和样�?/span>

测量可控制环境条仵�/span>

透明模式的地貌测野�/span>

DHM独特的光学配置允许用户测�?*光学质量指标９�/span>

通过玻璃和浸没液佒�/span>

内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分、�/span>

可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量９�/span>

透明结构的地彡�/span>

厚度和折射率，多层结构的厚度倻�/span>

�?0nm到几十微籲�/span>

柔软材料和液体的地形

系统

DHM型号

R1000

R2100

R2200

光源数量

1

2

3

操作波长＇�/span>��0.1nm（�/span>

666nm

794nm

666 nm� 794 nm� 680 nm

激光波长稳定�?/span>

0.01 nm / ��C at 666

样品�?/span>

手动或自动XYZ平台，行稊�/span>300 mm x 300 mm x 38 mm

物镜

放大倍数1.25x�?00x，标准，高数值孔径，长工作距离，�?油浸物镜

物镜转轮

六孔转盘

计算朹�/span>

DELL工作站，**多核Intel处理器，高性能图像卡，配置*�?1英寸显示屏及鼠标＋�/span>

软件

基于C++�?NET的Koala软件，额外可选软件模块可用于先进分析

数据兼容�?/span>

测量数据记录在二进制表格，可导出.txt格式，记录和重建图像可导�?tif格式�?txt数组

性能参数

测量模式

666nm单波镾�/span>

合成短波�?.2um

合成长波�?4um

DHM型号

R1000，R2100，R2200

R2100，R2200

R2200

精度[nm]

0.15

0.15 / 3.0 *

20

垂直分辨玆�/span>[nm]

0.30

0.30 / 6.0 *

40

重复�?/span>[nm]

0.01

0.01 / 0.1 *

0.5

垂直测量范围

up to 200 ��m

up to 200 ��m

up to 200 ��m

锐利边缘**台阶高度

up to 333 nm

up to 2.1 ��m

up to 12 ��m

表面类型

光滑表面

复杂，非连续表面

复杂非连续表靡�/span>

垂直校准

取决于干涉滤光片＋�/span>��0.1 nm

响应时间

标准500us�?0us(可�?

响应速度

标准30帧（1024*1024像素），可选达1000�?/span>

重建速率

高达25�?024*1024像素全息图（依赖于数据分析）（可�?0帧）

水平分辨玆�/span>

取决于物镜，低至300nm

视野

取决于物镜，�?6umx66um�?umx5um范围

工作距离

取决于物镜，�?.3�?8 mm

数字对焦

取决于物镜，高达50x景深

*小样品反射率

低于1%

样品照明

低至1 ��W/cm2

频闪装置

兼容单一，合成短波长