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DHM VS 白光干涉仪WLI | DHM VS 共聚焦激光扫描显微镜 | DHM VS 接触式表面轮廓仪 | ||||||
2 点主要区别: 1 DHM?相干长度?00m,而WLI只有15m。实际上,这意味着与DHM?聚焦比得上标准的光学显微镜。相反,使用WLI,用户需要搜索条纹,倾斜样本使样本在这个表面小范围内测量、/p> 2?/span>DHM?是一个更灵活的仪器,因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪物镜有限定且复杂的玻璃补偿、/span> |
2点主要区别: 1 DHM?垂直分辨率并不依赖于放大倍数,即显微镜物镜的数值孔?NA)。与此相反,CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度,而其会降低物镜的NA、/p> 2 DHM?垂直分辨率达到亚纳米精度,而CLSM使用高NA物镜对样品形?终的垂直分辨率分辨率只是几纳米、/span> |
主要区别9/p> 除了相比任何扫描方法的优势外,DHM?是一个非接触式光学表面光度仪,由于非接触方法可防止任何接触损害。采用表面光洁度轮廓?如探针式轮廓仪和AFM)的测量,可能会因表面的弹性变形、探针拖动污垢或损坏的探针而受到影响、/span> |
||||||
Features | DHM | WLI | Features | DHM | CLSM | Features | DHM? | 轮廓?/span> |
时间分辨测量 | ∙/td> | 时间分辨测量 | ∙/td> | 时间分辨率测野/td> | ∙/td> | |||
样品设置,不需要倾斜样品 | ∙/td> | 对曲率的数字补偿有很大的深度 | ∙/td> | 快速筛选表面,寻找感兴趣区埞/td> | ∙/td> | |||
直观聚焦的大垂直可视化范図/span> | ∙/td> | 可拆卸和灵活的仪表头 | ∙/td> | 通过玻璃和浸入式测量 | ∙/td> | |||
用标准光学显微镜对玻璃进行测野/span> | ∙/td> | 非接触、无损方泔/td> | ∙/td> | |||||
可拆卸和灵活的仪表头 | ∙/td> |
参数 | ||
DHM型号 | T1000 | T2100 |
激光源数量 | 1 | 2 |
工作波长(1.0nm) | 666 nm | 666 nm 794 nm |
激光波长稳定?/span> | 0.01 nm/C@666nm | |
样品?/span> | 手动或电?/span>XYZ三轴样品台,**移动范围114 mm x 76 mm x 38 mm | |
物镜 | 放大倍数1.25x臲/span>100x,可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | |
电脑 | Dell**工作站,Intel?多核处理器,高性能显卡针对寸/span>DHM?优化配置?導/span>21寸显示器 | |
专用软件 | Koala专用数据采集分析软件,基亍/span>C++咋/span>.NET附加专用分析软件供不同应用分枏/span>(MEMS Analysis Tool+/span>Cell Analysis Tool+/span>Reflectometry Analysis) | |
性能 | ||
测量模式 | 单激光波镾/span>666 nm | 双激光合成波镾/span>8m |
可用该测量模式的DHM型号 | T1000 T2100 | T2100 |
测量精度[nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
纵向分辨玆/span>[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
测量重复?/span>[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
动态可测纵向范図/span> | **500m4 | **500m4 |
**可测台阶高度 | **1.0m4 | **7.0m 4 |
**3.5m4 | **22m 5 | |
垂直校准 | 由干涉滤光片决定,范図/span>0.1 nm | |
图像采集时间 | 标准500s (*快可逈/span>10s) | |
图像采集速率 | 标准30?/span>/科/span>1024x1024像素(*快可逈/span>1000?/span>/科/span>) | |
实时重建速率 | 标准25?/span>/科/span>1024x1024像素(*快可逈/span>100?/span>/科/span>) | |
横向分辨玆/span> | 由所选物镜决定,**300 nm | |
视场 | 由所选物镜决定,范围仍/span>66m x 66m臲/span>5 mm x 5 mm | |
工作跜/span> | **50倍于景深(由所选物镜决宙/span>) | |
样品照明 | *位/span>1W/cm2 |
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